退出
我的积分:
中文文献批量获取
外文文献批量获取
机译:氮化硅微环谐振器的DUV光刻模拟与制造
Cirino, Giuseppe,; Barea, Luis,; Von Zuben, Antonio,; Lhermite, Hervé; Bêche, Bruno; De Sagazan, Olivier; Frateschi, Newton; M-Brahim, Tayeb;
机译:使用纳米压印光刻技术在微环谐振器和波导之间具有狭窄间隙的有机自旋玻璃微环谐振器的制造
机译:使用通过电子束光刻构图的氢倍半硅氧烷掩模制作低于10 nm的氮化硅碳氮化物谐振器
机译:光学微管谐振器氮化硅芯芯片波导材料的表征
机译:用于光刻的DUV和EUV光掩模中非平面相和多层缺陷的快速仿真方法。
机译:铌酸锂上硅薄膜中电光可调微环谐振器的仿真与分析
机译:用于EUV光刻的EUV EUV DUV面罩EUV光刻设备和确定由DUV辐射引起的对比度比例的方法
机译:用于硅晶片上制造的激光器的微环和微盘谐振器
抱歉,该期刊暂不可订阅,敬请期待!
目前支持订阅全部北京大学中文核心(2020)期刊目录。